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单晶硅压力变送器的为什么好

文章出处:人气:1发表时间:2019-2-28 20:27:38

单晶硅压力传感器的工作原理
如图1所示,单晶硅传感器的敏感元件是将P型杂质扩散到N型硅片上,形成极薄的导电P型层,焊上引线即成“单晶硅应变片”,其电气性能是做成一个全动态的压阻效应惠斯登电桥。该压阻效应惠斯登电桥和弹性元件(即其N型硅基底)结合在一起。介质压力通过密封硅油传到硅膜片的正腔侧,与作用在负腔侧的介质形成压差,它们共同作用的结果使膜片的一侧压缩,另一侧拉伸,压差使电桥失衡,输出一个与压力变化对应的信号。惠斯登电桥的输出信号经电路处理后,即产生与压力变化成线性关系的4-20mA标准信号输出。
单晶硅压力变送器的为什么好对于表压传感器,其负腔侧通常通大气,以大气压作为参考压力;对于绝压传感器,其负腔侧通常为真空室,以绝对真空作为参考压力;对于差压传感器,其负腔侧的导压介质通常和正腔侧相同,如硅油、氟油、植物油等。  
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单晶硅压力传感器的工作原理
如图1所示,YR-ER100单晶硅传感器的敏感元件是将P型杂质扩散到N型硅片上,形成极薄的导电P型层,焊上引线即成“单晶硅应变片”,其电气性能是做成一个全动态的压阻效应惠斯登电桥。该压阻效应惠斯登电桥和弹性元件(即其N型硅基底)结合在一起。介质压力通过密封硅油传到硅膜片的正腔侧,与作用在负腔侧的介质形成压差,它们共同作用的结果使膜片的一侧压缩,另一侧拉伸,压差使电桥失衡,输出一个与压力变化对应的信号。惠斯登电桥的输出信号经电路处理后,即产生与压力变化成线性关系的4-20mA标准信号输出。

对于表压传感器,其负腔侧通常通大气,以大气压作为参考压力;对于绝压传感器,其负腔侧通常为真空室,以绝对真空作为参考压力;对于差压传感器,其负腔侧的导压介质通常和正腔侧相同,如硅油、氟油、植物油等。  


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